Полное описание

Н/18015/31
621.382/И 730
Интеграционные проекты СО РАН / Российская академия наук. Сибирское отделение. - Новосибирск : Изд-во Сиб. отд-ния Рос. АН., 20 - . - В надзаг. также: Рос. АН. Сиб. отд-ние, Ин-т катализа им. Г.К. Борескова, Ин-т химии тв. тела и механохимии, Ин-т теорет. и прикл. механики. - Текст : непосредственный.
Вып. 31 : Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах / В. А. Гриценко [и др.]; отв. ред. А.Л. Асеев, В. А. Гриценко. - 2011 (Новосибирск). - 158 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр. в конце глав. - 400 экз. - ISBN 978-5-7692-1183-6. - ISBN 978-5-7692-0669-6 : Б. ц.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382-03

Рубрики:
Диэлектрики
Полупроводниковые приборы -- Материалы

Доп. точки доступа:
Гриценко, В.А.
Елисеев, А.П.
Иванов, М.В.
Игуменов, И.К.
Канчев, В.В.
Российская академия наук. Сибирское отделение

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽