Полное описание

Н/17884/2
Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов / Под ред. К.А. Джексона, В. Шретера; Пер. с англ. под ред. Э.П. Домашевской. - Воронеж : Водолей, 2004 - . - Пер. изд.: Handbook of semiconductor technology. - Weinheim et al., 2000. - Текст : непосредственный.
Т. 2 : Технологические процессы. - 2011. - 908 с. : ил. - Библиогр.: с. 883-885. Предм. указ.: с.886-908. - 400 экз. - ISBN 978-5-9273-1883-4 : Б. ц.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-047.84(03)

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка -- Справочники

Аннотация: Технология выращивания и обработки кремния. Технология выращивания монокристаллов полупроводниковых соединении. Эпитаксиальное выращивание. Фотолитография. Селективное легирование. Процессы травления в производстве полупроводников. Приборы на кремниевых структурах. Устройство приборов на основе сложных полупроводников. Технология производства микроэлектронных приборов на основе кремния. Технология производства микроэлектронных приборов на основе полупроводниковых соединении. Сборка интегральных схем. Системы разводки.
Доп. точки доступа:
Джексон, К.А.\ред.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)
Заказаны экз-ры для отделов: фо25

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽