Полное описание

Н/14892/15
Ионно-лучевая обработка материалов в микро- и наноэлектронике / Отв.ред. Ю.П.Маишев. - М. : Наука : Физматлит, 1999. - 185 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физ.-технол.ин-т ; т.15). - 200 экз. - ISBN 5-02-015315-X : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Рос.АН. Библиогр. в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002
	621.315.592.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Полупроводники -- Обработка

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- производство -- полупроводник -- обработка
Доп. точки доступа:
Маишев, Ю.П.\ред.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽