Полное описание

Н/13643/800
Высокоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР / А. В. Водопьянов [и др.]. - Н. Новгород : [б. и.], 2010. - 12 с. : ил. - (Препринт / Институт прикладной физики (Нижний Новгород) ; 800). - Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.). - 100 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592:621.794(04)

Рубрики:
Галлий, нитриды -- Травление

Доп. точки доступа:
Водопьянов, А.В.
Голубев, С.В.
Мансфельд, Д.А.
Сорокин, А.А.
Пряхин, Д.А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽