Полное описание
>
Серов, А. А. Об эффектах, наблюдаемых в системе с комбинированными пучково-плазменным и магнетронным разрядами / А. А. Серов, А. В. Вельмакин, С. В. Муравьев. - М. : [б. и.], 2009. - 16 с. : ил. - (Препринт / "Курчатовский ин-т", российский науч. центр (Москва) ; ИАЭ-6557/7). - Библиогр.: с. 8(4 назв.). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
53.49.01 | 669.017:539.216.2(04) |
Рубрики:
Металлические пленки -- Производство
Доп. точки доступа:
Вельмакин, А.В.
Муравьев, С.В.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказ фрагмента документа ₽