Полное описание

Н/11500/КИЯИ-91-23
Использование аномального тлеющего разряда для спазмохимической обработки кремния / Г.С.Кириченко,К.Л.Кругляков,С.Н.Павлов,В.М.Слободян. - Киев : [б. и.], 1991. - 23 с. : ил. - (Препринт ; КИЯИ-91-23). - 160 экз. - 00.06 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002(04)

Рубрики:
Кремний -- Обработка плазменная

Кл.слова (ненормированные): кремний -- плазменная обработка
Доп. точки доступа:
Кириченко, Г.С.
Кругляков, К.Л.
Павлов, С.Н.
Слободян, В.М.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽