Полное описание

Н/11110/24-00
Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества / Е.П.Прокопьев,С.П.Тимошенков,А.Л.Суворов и др. - М. : [б. и.], 2000. - 20 с. : ил. - (Препринт / Институт теоретической и экспериментальной физики(Москва) ; 24-00). - 141 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(04)

Рубрики:
Кремниевые структуры -- Производство

Кл.слова (ненормированные): кремниевая структура -- производство
Доп. точки доступа:
Прокопьев, Е.П.
Тимошенков, С.П.
Суворов, А.Л.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽