Полное описание

М/9354/58(1996)
Гайдуков, Г. Н. Исследование газа взаимодействующих частиц на поверхности твердого тела термодинамическим методом и методом компьютерного моделирования / Г. Н. Гайдуков, Е. А. Кожевников, Ю. В. Копаев. - М. : [б. и.], 1996. - 27 с. : ил. - (Препринт / Физический ин-т им.П.Н.Лебедева(Москва) ; 58(1996)). - 100 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(04)

Рубрики:
Полупроводниковые пленки -- Производство

Доп. точки доступа:
Кожевников, Е.А.
Копаев, Ю.В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽