Полное описание

М/72578/2
621.31/С 173
Самойликов, В. К.
Тепловые МЭМС: основы расчета, проектирование, испытание : учебное пособие / В. К. Самойликов, С. П. Тимошенков, С. С. Евстафьев ; Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2017 - . - Текст : непосредственный.
Ч. 2. - 2019. - 132 с. : ил. - Библиогр.: с. 129-130 (6 назв.). - 200 экз. - ISBN 978-5-7256-0926-4 : 100 р.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4-047.56
	621.31-181.4-048.24

Рубрики:
Микроэлектромеханические системы -- Проектирование
Микроэлектромеханические системы -- Испытание

Кл.слова (ненормированные): термоанемометры -- тепловые приемники излучения -- интегральные тепловые микроакселерометры -- технологии изготовления -- конструкции -- моделирование
Аннотация: Представлены основы выполнения расчетов, проектирования и способы испытаний тепловых микроэлектромеханических систем. Часть вторая посвящена проектированию термоанемометров, тепловых приемников инфракрасного излучения и термоакселерометров. Для студентов, аспирантов и молодых ученых, занимающихся исследованиями в области тепловых процессов в микросистемах, а также инженеров и конструкторов, проектирующих тепловые микросистемы. Настоящее издание осуществлено при поддержке АО "РВК" (Договор " 9/1251/2019 от 19 августа 2019 г. о предоставлении гранта на государственную поддержку центров Национальной технологической инициативы на базе образовательных организаций высшего образования и научных организаций).
Доп. точки доступа:
Тимошенков, С.П.
Евстафьев, С.С.
"МИЭТ", национальный исследовательский университет(Москва)

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽