Полное описание

М/67641/3/2
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7-ми моногр. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предел. технологий, 2012 - . - Текст : непосредственный.
3, Т. 2 : Микроинженерия миниатюрных вакуумных насосов / В. А. Васин [и др.]. - 2012. - 206 с. : ил. - Библиогр.: с. 188-202 (136 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-905872-10-5 : Б. ц.

ГРНТИ	УДК
55.39.37	621.521-181.4

Рубрики:
Вакуум-насосы -- Миниатюризация

Доп. точки доступа:
Васин, В.А.
Ветров, В.А.
Ивашов, Е.Н.
Львов, Б.Г.
Степанчиков, С.В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽