Полное описание

М/66785/8
Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011 - . - Текст : непосредственный.
8 : Физико-механические компоненты наносистем / Ю. В. Панфилов, В. М. Утенков, В. П. Михайлов. - 2011 (Москва). - 182 с. : ил. - Библиогр.: с. 178-179 (11 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-7038-3499-2 : Б. ц.

ГРНТИ	УДК
47.13.31	621.3.049.77-047.84:776
47.13.33

Рубрики:
Электронолитография

Аннотация: Механические, физико-химические и теплофизические свойства наноструктурированных материалов. Обработка поверхности с наноточностью (механическая, электрохимическая, электронно-лучевая, ионно-плазменная, лазерная). Наномодифицирование поверхности. Способы механического позиционирования с наноточностью (пьезоэлектрические, магнитострикционные, магнито- и электрореологические приводы движения). Способы демпфирования тепловых и механических воздействий при нанопозиционировании и нанообработке. Различные методы контроля.
Доп. точки доступа:
Шахнов, В.А.\ред.\
Утенков, В.М.
Михайлов, В.П.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽