Полное описание

М/66648/2
Борисов, А. М.
Физические основы ионно-лучевых технологий : учеб. пособие / А. М. Борисов, Е. С. Машкова. - М. : Унив. кн., 20 - . - В надзаг.: МГУ им. М. В. Ломоносова, НИИ ядер. физики им. Д. В. Скобельцына. - Текст : непосредственный.
2 : Распыление поверхности твердых тел. - 2013. - 194 с. : ил. - 100 экз. - ISBN 978-5-317-04447-3 : Б. ц.

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.9.048.7

Рубрики:
Электронно-ионная обработка

Доп. точки доступа:
Машкова, Е.С.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽