Полное описание

М/60581/О-104
НИИ электрофизической аппаратуры им. Д.В.Ефремова (Санкт-Петербург).
Обзор. - СПб. : [б. и.], 20 - . - Текст : непосредственный.
О-104 : Плазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях / Д. А. Карпов, В. Н. Литуновский. - 2009. - 62 с. : ил. - Библиогр.: с. 57-62 (86 назв.). - 80 экз. - ISBN 5-87911-095-8 : Б. ц.

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.184
55.20.15	621.793.74

Рубрики:
Ионное внедрение
Металлизация плазменная

Доп. точки доступа:
Литуновский, В.Н.
НИИ электрофизической аппаратуры им. Д.В.Ефремова(Санкт-Петербург)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽