Полное описание

М/59205/1
Перевощиков, В. А.
Геттерирование примесей и дефектов в полупроводниках / Перевощиков В.А., Скупов В.Д. - Н. Новгород : Изд-во Нижегор. госун-та, 20 - . - В надзаг.: Нижегород. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. - Текст : непосредственный.
Ч. 1. - 2002. - 220 с. : ил. - 500 экз. - ISBN 5-85746-701-2 : Б. ц.
Библиогр. в конце гл.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Ионное внедрение

Доп. точки доступа:
Скупов, В.Д.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽