Полное описание

М/50818/1
Голубев, Н. Ф.
Радиационные процессы в микроэлектронике / Голубев Н.Ф.,Кучинский П.В.,Латышев А.В. - М. : [б. и.], 19 - . - На обл.авт.не указ. - Текст : непосредственный.
Ч. 1 : Физические основы и применение радиационно-термических процессов в технологии биполярных микроприборов. - 1991. - 43 с. : ил. - 185 экз. - 3.75 р.
Библиогр.:с.41-41(31 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76-047.84
	621.3.049.76:539.16

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Микроэлектронные приборы -- Влияние ионизирующих излучений

Доп. точки доступа:
Кучинский, П.В.
Латышев, А.В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽