Полное описание

М/49929/ФТИ 91-04
Ташенов, Т. Б. Пассивация и реактивация глубоких уровней переходных металлов и серы в кремнии / Т.Б.Ташенов. - Алма-Ата : [б. и.], 1991. - 12 с. - (Препринт ; ФТИ 91-04). - 100 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.9(04)

Рубрики:
Кремний -- Обработка

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽