Полное описание

М/48895/16(1990)
Бабанов, Ю. Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю.Е.Бабанов,В.Б.Световой. - Ярославль : [б. и.], 1990. - 47 с. - (Препринт / Институт микроэлектроники и информатики(Ярославль) ; 16(1990))). - 100 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 44-46 (42 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592:621.794(04)

Рубрики:
Кремний -- Травление

Кл.слова (ненормированные): кремний -- травление
Доп. точки доступа:
Световой, В.Б.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽