Полное описание

М/48895/14(1990)
Масленицын, С. Ф. Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом / С.Ф.Масленицын,В.Б.Световой. - Ярославль : [б. и.], 1990. - 32 с. - (Препринт / Институт микроэлектроники и информатики(Ярославль) ; 14(1990))). - 100 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 30-32 (44 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.35	621.3.049.77-047.84:776(04)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Травление
Фотолитография

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- травление -- фотолитография
Доп. точки доступа:
Световой, В.Б.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽