Полное описание

М/45578/92-20/269
Лазерный комплекс для специализации интегральных схем и микрообработки / А.С.Ахманов,В.Ю.Гусев,А.В.Кеков и др. - М. : [б. и.], 1992. - 19 с. : ил. - (Препринт ; 92-20/269). - 100 экз. - Беспл. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84(04)
47.13.11

Рубрики:
Интегральные схемы -- Обработка лазерная

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- лазерная обработка
Доп. точки доступа:
Ахманов, А.С.
Гусев, В.Ю.
Кеков, А.В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽