Полное описание

М/45578/91-19/223
Лазерографический комплекс для микротехнологии и эксперименты по лазерно-стимулированным процессам на поверхности полупроводников / А.С.Ахманов,В.Ю.Гусев,А.С.Ковалев и др. - М. : [б. и.], 1991. - 27 с. : ил. - (Препринт ; 91-19/223). - 100 экз. - Беспл. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002:621.373.8(04)

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка лазерная

Кл.слова (ненормированные): полупроводник -- лазерная обработка
Доп. точки доступа:
Ахманов, А.С.
Гусев, В.Ю.
Ковалев, А.С.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽