Полное описание

М/42285/33(1991)
Беклемышев, В. И. Возможности лазерно-акустической очистки поверхности кремния, покрытой тонким слоем жидкости, от частиц субмикронного размера / В. И. Беклемышев, А. А. Коломенский, А. А. Мазнев. - М. : [б. и.], 1991. - 20 с. : ил. - (Препринт / Институт общей физики(Москва) ; 33(1991))). - 100 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84(04)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Очистка

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- очистка
Доп. точки доступа:
Коломенский, А.А.
Мазнев, А.А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽