Полное описание

М/42285/26(1991)
РЭМ-изображение щелевидных субмикронных структур в кремнии / Ю.А.Новиков,А.В.Раков,А.Н.Симонов и др. - М. : [б. и.], 1991. - 26 с. : ил. - (Препринт / Институт общей физики(Москва) ; 26(1991))). - 150 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322(04)

Рубрики:
Кремний -- Методы исследования

Кл.слова (ненормированные): кремний -- метод -- исследование
Доп. точки доступа:
Новиков, Ю.А.
Раков, А.В.
Симонов, А.Н.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽