Полное описание

М/42285/24
Диссоциация фторсилана SiF двухчастотным излучением непрерывного СО лазера с целью получения кластеров кремния / М.Эбрехт,Ф.Хускен,В.В.Смирнов и др. - М. : [б. и.], 1995. - 38 c. : ил. - (Препринт / Институт общей физики (Москва) ; 24). - 38 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002(04)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Обработка лазерная

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- лазерная обработка
Доп. точки доступа:
Эбрехт, М.
Хускен, Ф.
Смирнов, В.В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽