Полное описание

М/42285/24(1995)
Two-wavelength laser-induced dissociation of silicon tetrafluoride with CW CO-lasers / M.Ehbrecht,F.Huisken,N.A.Karpov и др. - Moscow : [s. n.], 1995. - 27 p. : il. - (Препринт / Институт общей физики (Москва) ; 24(1995)). - 45 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
31.15.29	546.28'161:542.65(04)

Рубрики:
Кремний, фториды -- Осаждение

Кл.слова (ненормированные): кремний -- фторид -- осаждение
Доп. точки доступа:
Ehbrecht, M.
Huisken, F.
Karpov, N.A.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽