Полное описание

М/42285/19(1995)
Новиков, Ю. А. Измерение диаметра электронного зонда РЭМ, ПРЭМ и электронных литографов / Ю. А. Новиков, А. В. Раков, И. Ю. Стеколин. - М. : [б. и.], 1995. - 23 c. : ил. - (Препринт / Институт общей физики (Москва) ; 19(1995)). - 100 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.35.43	621.385.833.2(04)

Рубрики:
Микроскопы электронные

Кл.слова (ненормированные): электронные микроскопы
Доп. точки доступа:
Раков, А.В.
Стеколин, И.Ю.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽