Полное описание

М/39018/027-95
Образование на поверхности кремния наноструктур, индуцированных адсорбцией кислорода / В.Д.Борман,Ю.Ю.Лебединский,В.В.Россинский,В.И.Троян. - М. : [б. и.], 1995. - 23 c. : ил. - (Препринт / Московский инж.-физ.ин-т ; 027-95). - 60 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76(04)

Рубрики:
Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника
Доп. точки доступа:
Борман, В.Д.
Лебединский, Ю.Ю.
Россинский, В.В.
Троян, В.И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽