Полное описание

М/32304/3(453)
Численное моделирование диффузии примесей в кремниевых структурах, сформированных локальным окислением / А.Ф.Буренков,В.А.Жук,А.И.Кирковский,В.А.Цурко. - Минск : [б. и.], 1991. - 25 c. - (Препринт / Институт математики(Минск) ; 3(453))). - 120 экз. - 00.5 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382-047.58(04)

Рубрики:
Кремниевые структуры -- Моделирование

Кл.слова (ненормированные): кремниевая структура -- моделирование
Доп. точки доступа:
Буренков, А.Ф.
Жук, В.А.
Кирковский, А.И.
Цурко, В.А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽