Полное описание
>
Обзоры по электронной технике : обзорная информация / ЦНИИ "Электроника". - М. : [б. и.], 19 - . - Текст : непосредственный.
Вып. 5(1519) : Низкотемпературное нанесение пленок нитридов кремния и алюминия реактивным распылением в вакууме : по дан. отеч. и зарубеж. печати за 1979-1989 гг. / Л.А.Сейдман. - 1990. - 52 с. - 3.80 р.
Библиогр.: с. 48-52 (83 назв.). Сер. 7, Технология, орг. пр-ва и оборудование
ГРНТИ | УДК | |
35.23 | 666.762.93-416 | |
67.15.47 | 669.017:539.216.2 |
Рубрики:
Кремний, нитриды, пленки -- Производство
Алюминиевые пленки -- Производство
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (3)
Свободны: ХР (1)
Экз.Ж90-24463а (ХР) занят;
Экз.Ж90-24463б (ХР) занят;
Заказ фрагмента документа ₽