Полное описание
>
Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". - М. : [б. и.], 20 - . - В надзаг.Департамент электрон. пром-сти. - Текст : непосредственный.
Вып. 2 : Механическая обработка полупроводниковых материалов, Ч. 1 : Резка монокристаллов на пластины / В.В. Рогов. - 2002. - 79 с. - (Серия 1, СВЧ техника). - Библиогр.: с. 78-79. - 500 экз. - 50 р.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.315.592.002:621.9 |
Рубрики:
Полупроводники -- Обработка резанием
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказ фрагмента документа ₽