Полное описание

М/15125/1(1486)
Обзоры по электронной технике : обзорная информация / ЦНИИ "Электроника". - М. : [б. и.], 19 - . - Текст : непосредственный.
Вып. 1(1486) : Протонное модифицирование оксидов и оксидных пленок : по данным отеч.и зарубеж.печати за 1975-1989 гг. / А.Н.Сергеев,А.Н.Анненков,С.Н.Сутулин,Ю.В.Бородин. - 1990. - 55 с. : ил. - 0.95 р.
Библиогр.:с.45-55(132 назв.).Сер.6,Материалы.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.612.8.002

Рубрики:
Оксиды -- Обработка
Оксидные пленки -- Обработка

Кл.слова (ненормированные): оксид -- обработка -- оксидная пленка -- обработка
Доп. точки доступа:
Сергеев, А.Н.
Анненков, А.Н.
Сутулин, С.Н.
Бородин, Ю.В.
"Электроника", ин-т (Москва)

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (3)
Свободны: ХР (3)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽