Полное описание

Ж2-17/63186
621.3/Ж 681
Жигалина, О. М. Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / О. М. Жигалина. - М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - (Учебное пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана). - Библиогр.: с. 104-108. - 200 экз. - ISBN 978-5-7038-4743-5 : 260 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.33	621.3.049.76-03
	621.315.612-416

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы
Сегнетоэлектрические пленки

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ПНТ (1), ФО18 (1)
Свободны: ПНТ (1), ФО18 (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽