Полное описание

Ж2-14/56150
Берлин, Е. В. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - М. : Техносфера, 2014. - 255 с. : ил. - (Мир материалов и технологий). - 750 экз. - ISBN 978-5-94836-369-1 : Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19	539.23

Рубрики:
Пленки -- Производство

Аннотация: Подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Представлено описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых плёнок и их зависимость от параметров процесса нанесения.
Доп. точки доступа:
Сейдман, Л.А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽