Полное описание

Ж2-10/49017
Диэлектрики в наноэлектронике / В. А. Гриценко [и др.]. - Новосибирск : Изд-во Сиб. отд-ния Рос. акад. наук, 2010 (Новосибирск). - 257 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - 500 экз. - ISBN 978-5-7692-1081-5 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Сибир. отд-ние Российской академии наук

ГРНТИ	УДК
45.09.37	621.315.61-416

Рубрики:
Диэлектрические пленки

Аннотация: Рассмотрены строение пленок оксида и нитрида кремния, полупроводниковые нанокристаллы в диэлектрических пленках, электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью, технология структур кремний-на-изоляторе, физика приборов флэш-памяти.
Доп. точки доступа:
Гриценко, В.А.
Тысченко, И.Е.
Попов, В.П.
Перевалов, Т.В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽