Полное описание

Ж2-07/40549
Технология материалов микро- и наноэлектроники / Л. В. Кожитов [и др.]. - М. : МИСИС, 2007 (М.). - 543 с. : ил. - (Металлургия и материаловедение XXI века). - Библиогр. в конце глав. - 1000 экз. - ISBN 978-5-87623-132-7 : Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.76-03
	621.384-022.532-03

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы
Наноэлектронные устройства -- Материалы

Доп. точки доступа:
Кожитов, Л.В.
Косушкин, В.Г.
Карпухин, В.В.
Пархоменко, Ю.Н.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХРЦ (2)
Свободны: ХРЦ (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽