Полное описание

Д9-10/78052
Технико-экологические проблемы наукоемких производств : межвуз. сб. науч. тр. / Моск. гос. ин-т электрон. техники (ТУ) ; под ред. В. И. Каракеяна. - М. : МИЭТ, 2010. - 195 с. : ил. - Библиогр. в конце отд. ст. - 60 экз. - ISBN 978-5-7256-0612-6 : Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
87.15.15	504.5

Рубрики:
Окружающая среда -- Загрязнение и защита от него

Аннотация: Представлены результаты исследований по проблемам контроля технологий, веществ, материалов и изделий в микро- и наноэлектронике. Основное внимание уделено проблемам мониторинга окружающей среды, созданию и исследованию приборов контроля различных сред.
Доп. точки доступа:
Каракеян, В.И.\ред.\
Московский гос. ин-т электронной техники

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ЭКО (1)
Свободны: ЭКО (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽