Полное описание

Д9-09/65493
Методы и средства контроля технологий, материалов и изделий в микро- и наноэлектронике : межвуз. сб. науч. тр. / Московский гос. ин-т электронной техники (техн. ун-т) ; под ред. В. И. Каракеяна. - М. : МИЭТ, 2009 (М.). - 195 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - 70 экз. - ISBN 978-5-7256-0557-0 : Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:658.562

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Технический контроль

Доп. точки доступа:
Каракеян, В.И.\ред.\
Московский гос. ин-т электронной техники

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽