Полное описание

Д9-09/65091
621.385/Я 890
Яфаров, Р. К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - М. : Физматлит, 2009 (Чебоксары). - 216 с. : ил. - Библиогр.: с. 205-216 (218 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-9221-1150-8 () : Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.29.37	621.385.6
31.15.30	66.088

Рубрики:
Электроника СВЧ
Плазмохимия

Аннотация: Современные тенденции и подходы к разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле. Опыт и результаты разработки физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств.
Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (1), ФО25 (1)
Свободны: ХР (1), ФО25 (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽