Полное описание

Д9-08/53591
Кузнецов, Г. Д. Ионно-плазменная обработка материалов : курс лекций / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов. - М. : Изд. дом МИСиС, 2008 (М.). - 179 с. : ил. - Библиогр.: с. 179 . - 190 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Кушхов, А. Р.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽