Полное описание

Д9-07/42597
Нанотехнологическая база микросистемной техники / В. М. Башков [и др.]; под ред. О. С. Нарайкина, В. Д. Шашурина. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2007 (М.). - 51 с. - (Приоритетные национальные проекты "Образование"). - 300 экз. - ISBN 978-5-7038-3089-5 : Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4

Рубрики:
Микросистемотехника

Доп. точки доступа:
Башков, В.М.
Беляева, А.О.
Быков, Ю.А.
Галиновский, А.Л.
Данилов, И.И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽