Полное описание

Д9-06/30958
Зиновьев, Д. В. Кремниевые структуры для приборов микроэлектроники : учеб. пособие по курсу "Технология микроэлектроники" / Д. В. Зиновьев, В. М. Андреев, К. А. Тузовский. - М. : МИЭТ, 2006 (М.). - 64 с. : ил. - Библиогр.: с. 63 (8 назв.). - 100 экз. - ISBN 5-7256-0422-5 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76

Рубрики:
Кремниевые структуры

Доп. точки доступа:
Андреев, В.М.
Тузовский, К.А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽