Полное описание

Д8-99/57326
Конников, С. Г. Количественная растровая электронная микроскопия полупроводников : учеб.пособие / С.Г.Конников. - Спб. : Изд-во СПбГТУ, 1999. - 57 с. : ил. - 100 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петербург. гос. техн. ун-т. Библиогр.: с.54-55

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:620.186

Рубрики:
Полупроводники -- Методы исследования

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽