Полное описание
>
Ануфриенко, В. В. Процессы и оборудование фотолитографической обработки : учеб.пособие по курсу "Технол.процессы и оборудование микроэлектроники" / В.В.Ануфриенко. - М. : [б. и.], 1998. - 66 с. : ил. - 100 экз. - ISBN 5-7256-0188-9 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электронной техники(техн.ун-т).Библиогр.:с.65(6 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.13.17 | 621.3.049.77-047.84:776 | |
681.618 |
Рубрики:
Фотолитография
Фотолитографическое оборудование
Кл.слова (ненормированные): фотолитография -- фотолитографическое оборудование>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказаны экз-ры для отделов: ХР
Заказ фрагмента документа ₽