Полное описание

Д8-98/42621
Шипатов, Э. Т. Имплантация ионов в полупроводники : учеб.пособие для вузов / Э.Т.Шипатов. - Ульяновск : [б. и.], 1998. - 199 с. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-88855-020-5 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Ульян.гос.ун-т.Библиогр.:с.196-197 (28 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Полупроводники -- Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): ионное внедрение
Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽