Полное описание

Д8-97/40494
Смирнов, А. Д. Перспективные направления микротехнологии : учеб. пособие / А.Д.Смирнов,В.Я.Урицкий. - СПб. : [б. и.], 1997. - 32 с. : ил. - 50 экз. - ISBN 5-7629-0198-X : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т. Библиогр.: с.31 (11 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- производство
Доп. точки доступа:
Урицкий, В.Я.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказаны экз-ры для отделов: ХР

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽