Полное описание

Д8-97/36715
Захаров, А. А. Физико-химические основы размерной обработки полупроводников. Механическая обработка : учеб.пособие для студентов вузов по спец."Проектирование и технология радиоэлектрон.средств","Конструирование и технология электрон.-вычисл.средств" / А.А.Захаров,В.А.Юзова. - Красноярск : [б. и.], 1997. - 217 с. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-7636-0076-2 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Краснояр.гос.техн.ун-т.Библиогр.:с.211-215 (54 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка

Кл.слова (ненормированные): полупроводник -- обработка
Доп. точки доступа:
Юзова, В.А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽