Полное описание

Д8-96/37067
Урицкий, В. Я. Технологический контроль процесса производства интегральных микросхем : текст лекций / В.Я.Урицкий. - СПб : [б. и.], 1996. - 47 с. : ил. - 105 экз. - ISBN 5-7629-0069-X : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петерб.гос.электротехн.ун-т.Библиогр.:с.46 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.3.049.77:658.562
47.33.31

Рубрики:
Интегральные схемы -- Технический контроль

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- технический контроль
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽