Полное описание

Д8-96/28978
681.5/Ч-194
Чаплыгин, Ю. А. Введение в технологию кремниевых микроэлектронных датчиков : учеб.пособие / Ю.А.Чаплыгин,А.И.Галушков;Под ред.Ю.А.Чаплыгина. - М. : [б. и.], 1996. - 70 с. : ил. - 100 экз. - ISBN 5-7256-0139-0 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электрон.техники.Библиогр.:с.68(8 назв.)

ГРНТИ	УДК
50.09.37	681.586.72.002

Рубрики:
Датчики полупроводниковые -- Производство

Доп. точки доступа:
Галушков, А.И.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽