Полное описание
>
Захаров, А. А. Физико-химические основы размерной обработки полупроводников. Механическая обработка : учеб. пособие / А.А.Захаров,В.А.Юзова. - Красноярск : [б. и.], 1995. - 177 с. : ил. - 300 экз. - ISBN 5-230-08351-4 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Краснояр. гос. техн. ун-т. Библиогр.: с.173-176 (51 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.315.592.002:621.9 |
Рубрики:
Полупроводники -- Обработка резанием
Доп. точки доступа:
Юзова, В.А.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказаны экз-ры для отделов: ХР
Заказ фрагмента документа ₽