Полное описание

Д8-95/24320
Сорокин, И. Н. Диэлектрические пленки в полупроводниковой электронике : учеб.пособие по курсу "Физ.-хим.основы технологии микроэлектроники" / И.Н.Сорокин,М.В.Акуленок. - М. : [б. и.], 1995. - 116 c. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-7256-0076-9 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электрон.техники (техн.ун-т).Библиогр.:с.111-116(55 назв.)

ГРНТИ	УДК
45.09.37	621.315.61-416

Рубрики:
Диэлектрические пленки

Кл.слова (ненормированные): диэлектрическая пленка
Доп. точки доступа:
Акуленок, М.В.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽