Полное описание

Д8-94/23671
Комаров, Ф. Ф. Ионная имплантация / Ф.Ф.Комаров,А.П.Новиков,А.Ф.Буренков;Под ред. Ф.Ф.Комарова. - Минск : Унiверсiтэцкае, 1994. - 303 с. : ил. - 300 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.289-301 (347 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Полупроводники -- Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): ионное внедрение
Доп. точки доступа:
Новиков, А.П.
Буренков, А.Ф.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽